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产品介绍

        PF-300T Upsilon 是一款面向先进逻辑芯片造作的紫表线固化（UV Cure）设备，该产品通过自主研发的均匀光路设计及精准可控的紫表光固化工艺，实现对沉积后的介质薄膜进行改性处置，可显著提高薄膜机能。目前已覆盖所有 UV 利用，如低 k 介电薄膜（Lok-II）和高应力氮化硅（HTN）的沉积后处置，为客户提供多样化产品配置及解决规划。平台一体化的集成架构，将专用UV固化反映腔直接搭载于成熟量产 PECVD 设备平台，在保险高精度固化工艺成效的同时，提升整机量产能力，已通过先进晶圆厂高产能量产验证。

产品特点
        - 均匀光路设计，实现不变紫表固化成效
        - 优异的出产成本(CoO)及机能指标
        - 可搭载1~3个反映腔
        - 通过S2安全认证和F47尺度检验