PP电子游戏

产品介绍

        VS-300T Astra-s SiN 是一款等离子体加强原子层沉积（PEALD）设备，聚焦高机能、多规格的氮化硅（SiN）介质薄膜精密沉积，利用于先进逻辑的金属栅极距离物侧墙、单扩散区隔离，以及存储位线侧墙、DRAM 位线填充等工艺，在片内均匀性、缺点节造、台阶覆盖率及沉积快率等方面达到国际先进水平。产品选取紧凑型架构，可搭载4个反映腔，拥有优异的坪效比和 CoO，满足逻辑、存储等客户先进技术节点要求。

产品特点
        - 高质量 SiN 薄膜沉积能力
        - 优异的片内均匀性
        - 最多可搭载4个反映腔，满足高产能需要
        - 优异的坪效比和 CoO
        - 通过S2安全认证和F47尺度检验